测量仪器检测三点连环干涉法来源：值得托付的第三方华中公正校准实验室

测量仪器检测三点连环干涉法

测量仪器检测干涉法是利用光的等厚干涉原理，仪器计量以平面平晶为标准进行测量的方法。

使平晶与被测面间形成微小楔形空气隙，计量校准在光源照明下即可看到等厚干涉条纹。调整平晶使干涉条纹呈3～5条，沿整个被测面以平晶半径为步长，v依次连续测量三点就得到各中点对其左右相邻点的连线间的高度差。电器厂仪器计量再按选定的统一坐标处理所得数据。长度仪器校正如果被测长度小于平晶直径，则可直接从干涉条纹的弯曲度测出直线度误差值。

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